無塵車間施工對潔凈度、溫濕度等有一定的耍求

為考慮半導體設備加工工藝的耍求，集成電路無塵車間是一間潔凈室。試驗室清潔無菌檢測實驗室-清潔試驗室-微生物安全實驗室的建設規劃包含：工程建筑合理布局和室內裝修、空調系統、給水排水、汽體供貨、電氣設計、集中控制系統、智能安防、施工技術、檢驗、學習培訓等多方面內容。無塵車間施工對自然環境潔凈度等級、溫濕度、震動、靜電放電、AMC操縱等有一定的耍求。與別的工業生產潔凈室對比，集成電路生產制造無塵車間具備總面積大、清理級別高、溫濕度線性度高等學校特性。

依據潔凈室的氣體循環特點，潔凈室可分成三種種類：含有高效率氣路系統軟件的循環中央空調，帶濕密封性系統軟件的循環電扇和FFU循環系統。

第一種方式普遍用以小規模納稅人和適度性耍求需要的無塵車間工程施工設計方案。針對大規模和高質量的清理生產車間，存有例如高運作成本費和過多室內空間的缺陷。

第二方式的工程施工設計方案能夠 考慮大規模高端集成電路生產制造無塵車間的耍求，但運作成本增加，潔凈室風力、排風量調整艱難，系統更新艱難，實際操作協調能力極低。
第三個FFU循環系統不但節約了實際操作室內空間，安全系數高，運作低成本，實際操作協調能力高，并且能夠 隨時隨地更新和調節，不危害制造。為考慮半導體設備的必須，半導體材料加工制造業中的FFU循環系統逐步形成最關鍵的清潔工程施工設計方案。

FFU循環系統的特性是：全部潔凈室由負壓層、加工工藝輔助層和送風安全通道構成。FFU出示循環氣體的驅動力。將空氣清新和循環氣體混和后，根據超高效送風口將空氣清新和循環氣體送進加工工藝層和加工工藝輔助層，負壓層相對性于加工工藝層為空氣壓力。除此之外，還有一個集成電路生產制造機器設備的制造輔助區，包含開關電源、汽體和有機化學供貨、超純水系統供貨等。

集成電路的生產制造對無塵車間施工的自然環境操縱有嚴苛的耍求。不一樣的加工工藝全過程對潔凈度的耍求也不一樣，比如，光刻工藝耍求在一環節的微自然環境中開展光刻，而有機化學研磨拋光只必須1000級的自然環境。

除此之外，集成電路生產制造清理生產車間對噪音，震動，照明燈具等有獨特的要求和耍求，尤其潔凈室總體設計中務必耍求的震動操縱。

優良的無塵車間工程施工設計方案，不但能節約資源，減少運作成本費，降低人力資源資金投入，并且為制造出示可以信賴的確保。在三種清理系統軟件中，FFU循環系統運作成本費最少，潔凈度和安全系數最大。因而，在集成電路潔凈車間中，多選用FFU循環系統。潔凈度等級耍求越高，溫濕度線性度越高，潔凈室的項目投資和運作成本費越高。因而，在自然環境潔凈度或溫濕度耍求相對性較低的狀況下，在較高的潔凈度等級或溫濕度操縱地區布局一些核心技術機器設備是IC生產制造凈化車間的工程施工設計方案發展趨勢。